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reactiveevaporation相关论文
反应电子束蒸发HfO2薄膜的结构、光学、化学和抗激光损伤特性
采用反应电子束蒸发技术在不同氧分压下制备了HfO2薄膜,并采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、椭圆偏振仪、X射线光电子能谱仪、106......
期刊
薄膜
反应蒸发
氧分压
抗激光损伤特性
thin film
reactive evaporation
oxygen partial pressure
laser
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